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进口真空阀门的相关专业术语

进口真空阀门的相关专业术语

真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件,是指工作压力低于标准大气压的阀门。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。专业术语,指特定领域对一些特定事物的统一的业内称谓,该词运用在各行各业中。本文详细描述进口真空阀门领域对一些真空阀门的统一的业内称谓。具体描述如下:

0、  真空阀门

真空阀门是在真空系统中用来隔离(切断)气流、调节气流流量、分配气流的真空元件。

真空阀门的应用

真空阀门常用于真空泵抽速测量、真空镀膜、离子束刻蚀、受控热核反应装置等真空系统上,提供精确调节的气体流量,用以获得稳定的工艺要求的真空度;高真空挡板阀、高真空插板阀,常用于主抽气泵的进气口上,用来隔离真空泵,使之不暴露于大气之中。高真空蝶阀可装于真空室,真空管道与真空泵之间,用以接通和隔离(截止)气流。阀门设计不应当漏气、发生机械、电气故障等。

1、真空阀门的真空的定义

真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。

2、真空阀门的真空度

处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空阀门的真空度单位

通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位。

1托=1/760大气压=1毫米汞柱

4、托与帕的转换

1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3

5、平均自由

作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。

6、真空阀门的流量

单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。

7、流导

表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。

UQ/(P2- P1)

8、真空阀门的压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。

9、标准大气压

压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。

10、极限真空

真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。

11、抽气速率

在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即SpQ/PP0

12、电离真空计(又热阴极电离计)

由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

13、热偶真空计

利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计

14、电阻真空计

利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。

15、冷阴极电离计

阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

16、复合真空计

由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa

17、麦克劳真空计(压缩式真空计)

将待测的气体用汞(或油)压缩到一极小体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。

18BA

这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。

19、水环真空泵

泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。

20、往复真空泵

利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。

21、油封机械真空泵

用油来保持密封的机械真空泵,可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。

22、罗茨真空泵

具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。

23、涡轮分子真空泵

有一高速旋转的叶轮,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

24、油扩散真空泵

扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

25、低温真空泵

利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。

26、冷阱(水冷挡板)

置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置

27、气镇阀

油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,并装上调节阀,当打开阀并调节入气量,转子转到某一位置,空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比,从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

28、真空冷冻干燥

真空冷冻干燥,也称升华干燥。其原理是将材料冷冻,使其含有的水份变成冰块,然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

29、真空蒸镀

真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。

30、真空干燥

利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

31、真空系统常用名称

(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

32、真空阀门的设计原则

  1、阀门的密封性能要好,不但阀板封闭处漏气速率要小,而且阀体的漏气速率要小;

  2、阀门密封部件耐磨性要好,特别是阀座与阀板密封部件要能反复使用,寿命长;

  3、阀门的通导能力要大;

  4、阀门材料应具有低饱和蒸汽压、高耐蚀能力和高化学稳定性;

  5、超高真空阀门应耐烘烤,烘烤温度一般不低于150℃,gao450℃;

  6、阀门结构要简单,造型美观大方,开关轻便灵活,开关状态应有标识,大型阀门应有起吊装置,操作方便,维修容易;

  7、阀门零部件加工工艺性要好,表面处理工艺先进,阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求。


 
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