真空系统的真空阀门的技术要求和特征

真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。系统中用的阀门需要采用真空阀门，最好是类似美国威盾VTON等一些大品牌的进口真空阀门，因为真空阀门和普通的常压阀门不一样，真空系统对进口真空阀门的要求比较特殊，分析如下：

1， 防锈性

    在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。

2， 工作压力范围在0～2.5×105Pa

    相对较宽的压力范围，会使产品的使用面更广泛，而且阀板的密封最好是双向的，至少阀板在反顶大气压时也可密封。

3， 结构紧凑，重量轻

4、低漏率

    在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率，对降低生产成本非常有效。真空阀门气密性与漏气速率

气密性表征真空阀的密封状态。漏气越少气密性越好。漏气速率表示在单位时间内，所有通过不同渠道漏入真空阀的气体量，单位为Pa·L/s。当真空阀门的漏量小于规定的允许漏量时，气密性达到要求，通常称为没有漏气，实际上绝对不漏的阀门是不存在的。真空阀门各部位允许漏量视阀门对真空度的要求不同而不同。

5， 起动时，震动低，对系统冲击小。

6， 结构紧凑，重量轻

7， 可选配加装阀门启闭信号控制器，便于编程自动化控制。

8， 高流导，明显的阀位指示

9， 采用波纹管作为位移的动密封

    无动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。

10，真空部分尽量避免采用真空脂。

11，尽量减少真空部件内的无用空间，以保证真空获得的时间更少。

12，尽可能的减少功耗

美国威盾VTON的进口真空阀门正是根据以上真空系统对真空阀门的要求，采用以下原则设计：

①阀门的密封性能要好，不但阀板封闭处漏气速率要小，而且阀体的漏气速率要小；

②阀门密封部件耐磨性要好，特别是阀座与阀板密封部件要能反复使用，寿命长；

③阀门的通导能力要大；

④阀门材料应具有低饱和蒸汽压、高耐蚀能力和高化学稳定性；

⑤超高真空阀门应耐烘烤，烘烤温度一般不低于150℃，最高450℃；

⑥阀门结构要简单，造型美观大方，开关轻便、灵活，开关状态应有标识，大型阀门应有起吊装置，操作方便，维修容易；

⑦阀门零部件加工工艺性要好，表面处理工艺先进，进口真空阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求。一般是KF法兰和活套法兰。